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疏水處理蒸鍍機(jī) 程控偶聯(lián)劑真空鍍膜機(jī)

疏水處理蒸鍍機(jī) 程控偶聯(lián)劑真空鍍膜機(jī)通過對處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層偶聯(lián)劑(HMDS),改變了襯底的接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

  • 產(chǎn)品型號:JS-HMDS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-12-19
  • 訪  問  量:291
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產(chǎn)品詳情


疏水處理蒸鍍機(jī)  程控偶聯(lián)劑真空鍍膜機(jī)的作用

通過對處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層偶聯(lián)劑(HMDS),改變襯底接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

遵循相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、地方標(biāo)準(zhǔn)等標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范

滿足標(biāo)準(zhǔn):ISO9001質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)以及相關(guān)的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、以及設(shè)備制造商的規(guī)范。

疏水處理蒸鍍機(jī)  程控偶聯(lián)劑真空鍍膜機(jī)的功能

序號

功能

技術(shù)參數(shù)

1.

尺寸

內(nèi)腔尺寸(深*寬*高): ≥3030300(mm),多尺寸可選,設(shè)備采用小型一體化設(shè)計,可放置于桌面。

2.

材質(zhì)

外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用 316L 級不銹鋼擱板層數(shù)≥2。

3.

溫度范圍

RT+10-200℃,波動度≤±0.5

4.

潔凈度

class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。

5.

電源及總功率

AC 220V±10% / 50HZ,總功率2.5KW

6.

控制儀表

人機(jī)界面,可控制HMDS藥液添加時間。

7.

真空泵

防反油旋片真空泵或無油泵,真空度:≤1torr,

8.

保護(hù)裝置

超溫保護(hù),漏電保護(hù)等

9.

HMDS泄露報警

配有HMDS實時監(jiān)測裝置,具有報警提示功能。

  該系統(tǒng)不僅適用于傳統(tǒng)的硅基集成電路制造,在第三代半導(dǎo)體(如SiC、GaN)、 封裝(TSV、Fan-Out)、以及Micro-LED巨量轉(zhuǎn)移等新興領(lǐng)域,其粘附促進(jìn)能力同樣展現(xiàn)出巨大潛力。穩(wěn)定的表面處理是這些技術(shù)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的基石。適用于半導(dǎo)體晶圓制造廠(Foundry)、集成電路設(shè)計公司的工藝研發(fā)部門、MEMS制造企業(yè)、光罩生產(chǎn)、化合物半導(dǎo)體(如GaN, SiC)器件制造商、科研院所和高校的微納加工實驗室。 封裝(AP)廠商、LED制造商、微流控芯片研發(fā)公司等。

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