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半導體烘烤設備

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晶圓無氧化烘箱，藍寶石厭氧烘箱工業烘箱

晶圓無氧化烘箱，藍寶石厭氧烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構，全部采用無塵材料，箱內持續充氮，使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。

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更新日期
2025-09-16

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固化烤箱工業烘箱

固化烤箱，PI、BCB膠烘箱用于整個箱體結構分為：膛體組件、箱架組件和熱風組件三個部分，膛體腔，內表面全鏡面設計，風道由左、右、后導風板與箱體內壁組合而成，膛體頂部有排風管道。

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2025-09-16

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智能型HMDS烘箱，全自動HMDS烘箱工業烘箱

智能型HMDS烘箱，全自動HMDS光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

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2025-09-16

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可編程潔凈烘箱，程序無塵烘箱工業烘箱

可編程潔凈烘箱，程序無塵烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.

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無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱烘箱設備

無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱無塵等級：Class 100、10; 溫度范圍：RT+10～300℃；用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤

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