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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在箱內先經過100℃-200℃的去水烘烤，再進行HMDS處理，不需要從箱內傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有更好的處理效果。

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更新日期
2025-09-17

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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）

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2025-09-17

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智能型HMDS系統真空泵，HMDS涂膠機干泵密封設計（電機和所有軸承與真空環路*隔開）延長了軸承的使用壽命，還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內置于泵模塊中，可根據需要使用，不會額外增加泵的高度。

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2025-09-17

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2025-09-17

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